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产品描述：

 干式螺杆真空泵即螺杆式无油机械真空泵，是利用齿轮传动同步反向旋转的相互啮合而不接触的左螺杆与右螺杆作高速转动，利用泵壳和相互啮合的螺旋将螺旋槽分隔成多个空间、形成多个级，气体在相等的各个槽内 ( 柱形等螺距 ) 进行传输运动，但无压缩，只有螺杆末端的螺旋结构对气体有压缩作用。螺杆的各级间可形成压力梯度，以分散压差和提高压缩比。各部间隙和泵转速对泵的性能有很大影响。在设计螺杆各部的间隙时，要考虑膨胀、加工及装配精度和工作环境( 如抽除含粉尘气体等 ) 等。该泵与罗茨真空泵一样不设排气阀。这种类型的泵如果选用适当的较简单螺杆牙型截面，则制造简单，可保证很高的加工精度，且容易动平衡。

美国泰悉尔SDV变螺距干式螺杆真空泵：

    SDV变螺距干式罗茨真空泵，设计紧凑，运行高效。显著的特点是无需密封液，从而避免了密封液对介质的污染。它与传统的等螺距设计不同，而是采用了专利的可变螺距设计，提高了效率，降低了排出气体温度,从而无须冷却净化,可节省30％的能量，这是该泵的特点。SDV泵可以从大气压下开始全速抽吸至压力为1Torr（1.3mbar a），而其极限真空可达0.01Torr（0.013mbar a）。干式螺杆真空泵腔内完全无水无油，直通气路设计，SDV泵都可以处理含可凝性蒸气的气体和含微小颗粒而不会残留在泵内的气体

SDV干式螺杆真空泵的特点：
•由于采用变螺距结构，比等螺距螺杆可节省30%能耗，排气温度较低；
•被抽气体在泵腔内路程短并迅速排出；
•被抽气体在泵腔内很少受到搅动；
•微小颗粒不容易堆积；
•可以夹带液体、可凝物和微小颗粒；
•低振动和低噪声；
•泵腔内的剩余物容易被清除。

干式螺杆真空泵的典型应用：

低压化学气相沉积中的多晶硅制备工艺中
半导体刻蚀工艺。在这些生产工艺中往往用到或生成腐蚀性气体和研磨微粒
除半导体工艺外的某些产生微粒的工艺，不希望微粒混入泵油中，而希望微粒排出泵外，则用一定型式的干式机械真空泵可以满足要求
在化学工业、医药工业、食品工业中的蒸馏、干燥、脱泡、包装等，要防止有机溶剂造成污染，适合用干式真空泵
用做一般无油清洁真空系统的前级泵，以防止油污染
化学和医药流程
溶剂回收
成型
结晶
干刻
溅镀
油气回收